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M系列 BA-100 X射线荧光毛细管镀层测厚仪
    发布时间: 2020-06-28 14:15    

M系列 BA-100 X射线荧光毛细管镀层测厚仪 



规格:


领域

非常小的样品,如半导体,连接器或PCB领域  

非常薄涂层100nm

需要测试多个样品的多个位置               

需要在短时间内完成测量(1-5

保证符合IPC-4552A4553A45544556

 


特点

M系列是高端机型,其光斑尺寸仅为15μmFWHM100放大相机用于观察样品上的细微特征;同配有低倍相机用于观察样品的宏观成像。博曼双摄像头系统可让操作人员看到整个样品,点击图像,通过高倍放大相机进行放大实现测量点的精确定位和测量。

可编程的XY平台,可精确定位多个测量点;博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。



配置

该系列采用15μm毛细管光学结构和高分辨率SDD探测器,处理更高的计数率。相机具有100×放大和更高的数字变焦能力。可编程XY样品台是标准配置。M系列焦距非常小,所以使用时样品必须平整。