M系列 BA-100 X射线荧光毛细管镀层测厚仪 

产品参数：

项目	技术参数
X射线管	50W钥靶射线管15um毛细管光学结构
探测器	135eV分解率的建漂移探测器
滤波器	4位置一次过滤器
处理器	英特尔，酷睿i5  3470处理器(3.2GHz)，8GB  DDR3内存Windows 10，64位
分析能力	5层(4层+基材)每层分析10种元素，成分分析最多可同时分析25种元素
焦距	固定焦距(0.05”)
视频放大倍率	100x:微双摄像头，2x:宏观摄像头
工作环境	温度在20℃~25℃之间，相对湿度小于98%，无冷凝
数字脉冲处理	4096多通道数字处理器  自动死时间，逃逸峰校正
重量	70kg
元素测量范围	13号铝元素至92号铂元素
相机	1/4CMOS-1280x720VGA分辨率
电源	150W，100~240V 频率范围为47Hz~63Hz
可编辑XY平台	尺寸:425mm(17”)x 400mm(16”) 行程:165mm(6.5*)x165mm(6.5”)高精度
尺寸(高x宽x深)	样品仓:140mm(5.5”)x305mm(12”)x330mm(13”) 外形:500mm(18“) x450mm(18”)x600mm(24”)

领域：

◆非常小的样品，如半导体，连接器或PCB领域 

◆非常薄的涂层（＜100nm）

◆需要测试多个样品的多个位置               

◆需要在短时间内完成测量（1-5秒）

◆保证符合IPC-4552A，4553A，4554和4556

特点：

◆M系列是高端机型，其光斑尺寸仅为15μm（FWHM），100倍放大相机用于观察样品上的细微特征；同时配有低倍数相机，

用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品，点击图像，通过高倍放大相机进行放大，实现

测量点的精确定位和测量。

◆可编程的XY平台，可精确定位多个测量点；博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微

样品特征的测试。独特的3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。

配置：

◆该系列采用15μm毛细管光学结构和高分辨率SDD探测器，以处理更高的计数率。相机具有100×放大和更高的数字变焦能力。

可编程的XY样品台是标准配置。M系列焦距非常小，所以使用时样品必须平整。