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PRODUCT CENTER

产品中心


全自动3D测量设备HM550
    发布时间: 2025-04-07 15:53    


HM550全自动3D测量设备

产品描述：

ETM-Pro 3D膜厚分析系统是面向高精密电子制造领域的全自动检测平台，集成亚微米级膜厚测量与3D形貌重建双核心功能。通过四轴联动伺服控制与智能算法融合，实现500×450mm大尺寸工件的在线式全检，测量精度达2μm，支持MES实时数据交互，满足IATF 16949车规级品控要求。



设备技术参数：


分类



技   术   参  数


多模态传感融合

 


白光干涉 + 激光共聚焦 + 结构光三维重建（宏观形貌）


智能运动系统


四轴联动纳米平台：X/Y轴直线电机 + Z轴压电陶瓷） + θ轴旋转补偿



在线测量架构



双工位流水线设计：上料→真空吸附定位→3D扫描→膜厚分析→NG分拣，节拍＜45s/件



工业互联系统

 


支持OPC UA协议，可直接对接MES/SPC系统，数据字段包含：

• 膜厚均值/极差/CPK

• 3D形貌点云哈希值

• 缺陷坐标定位图




行业应用：

产品广泛应用于智能穿戴、集成电路、5G通讯、汽车部件、医疗器械、新能源电池等众多行业，并已成功应用于手机天线、胶路检测、蓝牙耳机、助听器、立体电路等产品生产工艺，帮助用户改善关键制程、提升一次良率、强化高精密制造。