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ETM1200晶圆厚度自动测量设备
    发布时间: 2020-08-11 10:22    
ETM1200晶圆厚度自动测量设备


测量材质:  Si(硅)、Doped-Si(涂层硅)、SiC(碳化硅)、Sapphire(蓝宝石)、GaAs(砷化镓)、Glass(玻璃)、GaN(氮化镓) 
测量厚度和TTV,测量范围10~2900um (跟据材质不同,测厚范围有所不同)
测量尺寸兼容8寸以下晶圆,采用真空吸附,自由编辑轨迹,形成Map,数据分析与导出