外观尺寸

760*500*500mm

X、Y测量行程

200*200mm

Z轴可调行程 

1.6-100mm

有效测量范围

160*160mm

扫描最小步距

1μm

光斑直径

18~30μm

横向分辨率

9~15μm

轴向分辨率

30nm

检测重复精度

0.1μm

与表面角度

90°±2°

测量厚度范围

10~2900μm

适应材质

Si(硅）、Doped-Si(涂层硅）、Sic（碳化硅）、Sapphire(蓝宝石）、GaAs(砷化镓）、Glass(玻璃）、GaN(氮化镓）

测量原理

红外光干涉

电     源

AC220V±10%

重     量

300kg

噪     音

Noise 70db

运行系统

Operational system Win10