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3D轮廓测量设备ES-450
    发布时间: 2020-08-11 10:22    

3D轮廓测量设备ES-450








规格:

技术规格

ES-450

外观尺寸

1700*1400*1900 mm

X.Y测量行程

450*450mm

Z轴可调行程

50mm

有效测量范围

450*450mm

扫描最少步距

1μm

最大扫描速度

10mm/S

检测重复程度

0.2μm

电源

AC220V±10%

重量

1500kg

噪音

70db

工作环境

AC220V±10%



功能描述3D形貌、台阶高、粗糙度、MEMS形貌、TSV、光刻胶厚度、刻蚀图形、Bump、金球、铜柱