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网站首页 ※ 半导体测量设备 ※ 3D轮廓测量设备ES-450

PRODUCT CENTER

产品中心


3D轮廓测量设备ES-450
    发布时间: 2022-06-09 15:44    

3D轮廓测量设备ES-450






设备技术参数：


技术规格


ES-450


外观尺寸


1700mm*1400mm*1900 mm


X.Y测量行程


450mm*450mm


Z轴可调行程


50mm


有效测量范围


450mm*450mm


扫描最少步距


1μm


最大扫描速度


10mm/S


检测重复程度


≤0.2μm


电     源


AC220V±10%


重     量


1500kg


噪     音


70db


工作环境


AC220V±10%


功能描述：


◆  3D形貌


◆  台阶高


◆  粗糙度


◆  MEMS形貌


◆  TSV


◆  光刻胶厚度


◆  刻蚀图形


◆  Bump


◆  金球


◆  铜柱