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3D轮廓测量仪ES-200
    发布时间: 2020-06-24 16:41    
3D轮廓测量仪ES-200



产品描述: 

非接触3D表面扫描系统

搭载XYZ高精度运动平台

200mm×200mm范围内自动测量

2D剖面图和3D点云图

友好人机界面

测量表面粗糙度



技术: 

采用白光干涉技术,分辨率达到纳米级,最大可达100mm视野范围 

0-200mm运动精度达到微米级,运行平稳,跳动小,磨损低 



应用:

表面粗糙度测量 

平面度测量 

共面性测量 



规格: 

技术规格

S

M

L

有效视觉角度

5×5平方微米

33×33平方毫米

55×55平方毫米

横向分辨率

5微米

17微米

29微米

扫描范围

50毫米

50微米

100毫米

扫描速度

100微米/

90微米/

90微米/

工作距离

40-90毫米

40-80毫米

50-100毫米

精度(粗糙度)

50纳米

50纳米

80纳米

精度(平整度)

30纳米

30纳米

50纳米

精度(阶梯差50微米)

500纳米

500纳米

500纳米

重复性(阶梯差50微米)

100纳米

100纳米

100纳米