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非接触式膜厚测量仪EA-160
    发布时间: 2020-06-24 17:09    

全自动检测设备EA-160 





产品描述:

高速度、高精度测量系统

最大160mm×160mm范围自动测量

重复测量精度≤0.5μm

适用高反光、高透光材质

数据重复测量的一致性

测量膜厚、线宽、平面度等

技术: 

采用白光共焦技术,分辨率达到5nm,最大量程13mm 

0-160mm运动精度达到微米级,X、Y方向无机械接触,采用全闭环反馈系统,实现高精度测量 

高精度、高分辨率CCD系统,结合effecttek软体算法,支持影像定位辅助系统 


应用: 

厚膜电路测量

晶圆涂胶测量 

LTCC膜厚、线宽测量 

MEMS测量 

透明材质测量 

太阳能面板测量 


规格: 

项目

技术参数

项目

技术参数

项目

技术参数

外观尺寸

760*500*500mm

扫描最少步距

3um

重量

200kg

XY测量行程

200*200mm

最大扫描速度

30mm/s

噪音

30dB

Z轴可调行程

50mm

检测重复精度

≤0.5um

工作环境

温度22±2 

有效测量范围

160*160mm

电源

AC220V±10% 50HZ

工作环境

湿度 45±5%