非接触式膜厚测量仪 EA-160 

产品描述:

◆高速度、高精度测量系统

◆最大160mm×160mm范围测量  

◆透明材质穿透测量  

◆测量膜厚、线宽、平面度等 

 

◆多程序自由切换，方便灵活

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技术： 

◆采用白光共焦技术，分辨率达到5nm，最大量程13mm 

◆0-160mm运动精度达到微米级，X、Y方向无机械接触，采用全闭环反馈系统，实现高精度测量 

◆高精度、高分辨率CCD系统，结合effecttek软体算法，支持影像定位辅助系统 

应用： 

◆厚膜电路测量

◆晶圆涂胶测量 

◆LTCC膜厚、线宽测量 

◆MEMS测量 

◆透明材质测量 

◆太阳能面板测量 

设备技术参数: