高精度非接触式光学膜厚测量仪 E-80

一、产品描述: 

     本产品采用白光共焦技术与光纤传感系统，专为解决高反光、高透光材质（如玻璃镀层、金属薄膜、树脂涂层）的精准测量难题而设计。通过非接触式光学测量（分辨率达20nm）与高速采样技术（20µs/点），可快速获取膜厚、轮廓、断差等关键数据，支持CPK统计分析与自动化批量检测，显著提升工业质检效率与良品率。

二、技术： 

✅ 抗干扰强：光纤传感器实现电-光隔离，避免电磁干扰

✅ 零损伤测量：非接触式技术保护脆弱样品表面

✅ 高效稳定：Y向自动测量+微米级机械精度（重复精度1μm）

✅ 复杂场景适配：自动校准高反光/透明材质，消除传统接触式误差

三、设备技术参数:

分类 参数详情 光学系统 - 测量原理：白光共焦光谱分析 - 光源类型：高稳定性LED宽谱光源 - 分辨率：20nm（标样） - 线性度：±0.05% F.S. 机械性能 - 行程范围：X/Y/Z 130mm×90mm×50mm - 定位精度：±1.5μm - 最大扫描速度：30mm/s - 最小步距：1μm 环境适应性 - 工作温度：10~40℃ - 湿度范围：20%~80% RH（无冷凝） - 抗振动：≤0.5G (10-200Hz) 数据输出 - 接口类型：USB 3.0/千兆以太网 - 软件功能：3D轮廓重建、CPK分析、SPC数据导出（Excel/CSV） 电源与功耗 - 输入电压：AC220V±10%, 50-60Hz - 整机功率：≤300W - 安全认证：CE/ROHS/FCC

四、应用场景： 

1、半导体封装：

✅芯片焊膏厚度测量（0.1~200μm）

✅BGA球顶高度一致性检测

✅晶圆表面钝化膜厚度分析

2、光学镀膜：

✅增透膜/反射膜分层厚度测量（透明玻璃基底）

✅滤光片膜层均匀性检测

3、3C电子制造：

✅手机盖板玻璃AG涂层厚度控制

✅PCB阻焊油墨厚度在线监测

4、汽车工业：

✅动力电池极片涂布厚度检测

✅电泳漆膜厚自动化批量抽检

五、与传统接触式测量仪对比优势

精度提升：±0.1μm → ±20nm（标样） 速度提升：手动单点测量 → 30mm/s连续扫描 损伤率降低：接触压力导致划痕 → 零接触无损伤 复杂材质兼容：仅适用哑光表面 → 支持镜面/透明材质